글로벌
SEMI 인증제도 소개
SEMI(Semiconductor Equipment and Material International)는 반도체 생태계와 전자 제조 및 설계 공급망을 통합할 수 있는 플랫폼을 제공하는 글로벌 산업 협회입니다.
SEMI 국제 표준 프로그램은 북미에서 시작하여 현재는 유럽, 일본, 중국, 한국 대만에 기술위원회를 두고 있습니다.
반도체, 디스플레이, 마이크로 전자 기계 시스템, 태양광 및 고휘도 LED 산업 등을 위하여 자발적인 기술 계약을 위한 SEMI 표준을 제공하고 있습니다.
SEMI 표준은 공급업체와 고객 간 자발적인 기술 계약을 통하여 제품 품질, 신뢰성 및 사용자의 안전을 향상시키는 것을 목표로 하고 있습니다.
SEMI 안전 표준은 SEMI S2(환경, 안전, 보건에 대한 가이드라인) 표준을 바탕으로 SEMI S6, S8, S10, S14, S22 과 같은 표준을 통하여 작업자의 안전을 위한 설계
방법을 세부적으로 다루고 있습니다.
SEMI 주요 안전 표준
| SEMI S2 | 반도체 제조 장비의 환경, 안전, 보건에 대한 가이드라인 |
|---|---|
| SEMI S6 | 반도체 제조 장비의 화학물질에 대한 배기 환기의 환경, 안전, 보건 가이드라인 |
| SEMI S8 | 반도체 제조 장비의 인체공학적 설계에 대한 안전 가이드라인 |
| SEMI S10 | 반도체 제조 장비의 위험성 평가 안전 가이드라인 |
| SEMI S22 | 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인 |
| SEMI S23 | 반도체 제조 장비의 에너지, 유틸리티, 물질사용 효율에 대한 가이드라인 |
| SEMI F47 | 반도체 제조 장비의 전압 강하 내성 능력 |
인증 대상 품목
반도체 제품의 제조와 관련된 장비로서, 제조, 측정, 조립 및 시험하는데 사용되는 장비가 해당되며, 부속 장비에 대하여도 적용됩니다.
| 종류 | 설명 |
|---|---|
| 반도체 제조 장비 | 웨이퍼 제조 장비, 산화 공정 장비, 포토 공정 장비, 식각 공정 장비, 증착 장비, 노광 장비, 금속 배선 공정 장비, 패키징 공정 장비, 클리닝 공정 장비 |
| 반도체 측정 장비 | 웨이퍼 광학 검사 장비, EDS 공정장비, 패키지 검사 장비 , 번인 장비 |
| 반도체 부속 장비 | 스크러버, 냉매 공급 장치, 진공 펌프, 산업용 로봇, OHT 이송장치 |
인증 절차
필요 서류
| 기술문서 종류 | 설명 |
|---|---|
| 전기도면 | 전기도면, Symbol List, Block Diagram, 부품목록, Interlock List, Safety Logic 등 |
| 기구도면 | Lay-out, 내부 부품 배치도, 안전센서 배치도, LOTO Map 등 |
| 유공압도면 | PCW, N2, CDA, 공정화학물질 등의 배관 설계 도면 |
| 매뉴얼 | 동작매뉴얼, 안전매뉴얼, 유지보수매뉴얼, 이송 및 보관매뉴얼 등 |
| 명판 | 제조사 이름 및 주소, 정격 정보(전압, 전류, 주파수, SCCR 등) |
| 기타 문서 | MSDS(Material Safety Data Sheet), 내진설계 계산자료, Laser data sheet 등 |
KTR 서비스 내용
SEMI 안전 표준에 대한 요구사항 설계 안내부터 시험 및 평가서 발행 과정에 대한 모든 서비스 제공
담당자 안내
글로벌산업기기센터
양대송 수석연구원
산업용기계류/방폭기기/반도체설비(SEMI)
02.2164.0019
yds@ktr.or.kr
이석호 선임연구원
기계분야 CE인증 및 SEMI 평가
02.2164.1477
lsh@ktr.or.kr
